制藥廢水處理的關鍵步驟和工藝設備主要包括以下幾個方面：

1.制藥廢水預處理：

混凝沉淀技術：通過加入混凝劑，使廢水中的膠體物質和細小懸浮物聚集成較大的顆粒，然后用沉降法或氣浮法分離。

氣浮法：包括充氣氣浮、溶氣氣浮、化學氣浮和電解氣浮等，用于去除懸浮物或油脂含量較高的廢水，降低COD含量。

吸附法：利用多孔性固體物質如活性炭、活性煤等吸附廢水中的污染物，常用于預處理工藝中去除色素、懸浮顆粒物等。

膜分離法：包括反滲透、納濾膜等技術，用于回收有用物質，減少有機物排放總量。

電解法：利用極板間發生的氧化還原反應進行廢水預處理，具有混凝效果，能有效去除色度、COD。

2.制藥廢水生化處理：

厭氧生物處理：如升流式厭氧污泥床（UASB）、厭氧復合床（UBF）等，用于處理高濃度有機廢水。

好氧生物處理：包括活性污泥法、生物接觸氧化法、SBR等，通常作為厭氧處理后的后處理工序。

3.制藥廢水后處理：

氧化技術（AOP）：破壞污染物結構，將不可生物降解物質轉化為可生物降解物質。

多效蒸發處理技術：利用一次蒸發產生的二次蒸汽作為下一個蒸發器的熱源，節省能源，適用于高含鹽廢水處理。

刮板薄膜蒸發處理技術：適用于銨鹽含量高達5～10%的廢水，通過蒸發、濃縮、結晶、回收硫酸銨、硝酸銨作肥料或回用。

4.制藥廢水處理：

在廢水處理的階段，通常需要進行處理，以確保廢水中的病原體被有效去除，滿足排放標準。

以上步驟和設備的選擇應根據廢水的具體性質、處理效果、基建投資及運行維護等因素綜合考慮，以達到技術可行和經濟合理的處理目標。